Electromigration Electromigration이란 얇은 박막(thin film)이나 wire형태의 전도체에 높은 전류밀도가 가해질 때 Mass transport가 일어나는 현상이다. 이로 인하여 hillock, bridge나 void 같은 defect이 생겨 device의 성능저하를 초래한다. Electronmigration이 일어나는 대표적인 2가지 mechanism은 다음과 같다. (1) Electron Wind Force 높은 전류 밀도에서, 전자(electron)는 금속 이온(metal ion)에 충분한 momentum을 가하여 양극(anode)쪽으로 이동하도록 할 수있다. Net flux of metal ions toward the anode는 다음과 같다. z* = effecti..